DVIA-P система активной пневматической виброизоляции

Описание

Серия DVIA-P представляет собой передовую систему активной виброизоляции, на основе пневматических сервоклапанных приводов, контролирующих низкочастотные вибрации, и стабилизирующих полупроводниковые метрологические устройства с помощью сверхточных моторизированных предметных столов. Система серии DVIA-P работает на высокочувствительных датчиках и мощных пневматических сервоприводах, невероятной мощности которых достаточно, чтобы противодействовать вибрациям полов зданий и обеспечить наикратчайшее время стабилизации для получения изображений в нано-диапазоне без каких-либо помех.

Преимущества

Превосходная эффективность виброизоляции
Передовые алгоритмы обратной связи и упреждения вибраций в системе DVIA-P обеспечивают виброизоляцию 40 – 70% на 2 Гц в шести степенях свободы.

Система специально предназначенная для полупроводникового метрологического оборудования
На основе ввода аналоговых данных и данных об ускорении в реальном времени, система упреждения в устройстве серии DVIA-P способна эффективно компенсировать остаточные вибрации, вызываемые моторизированными линейными предметными столами. При движении моторизированных столов с высоким ускорением и массой, имеет место существенный сдвиг, система обратной связи по ускорению DVIA-P сводит к минимуму смещение, снижая время стабилизации и улучшая точность местоположения системы. Помимо этого, в случае если аналоговые выводы ускорения смещения положения стола, измеряемые в реальном времени, подключены к регулятору, может применяться система упреждения. Эта система вырабатывает силу, пропорциональную вращательному моменту стола и силе его вибрации, которая существенно снижает пространственные смещения линейных предметных столов.

Точность позиционирования – до 10 мкм

Датчики местоположения постоянно измеряют положение системы виброизоляции и затем удерживают это положение с помощью процессора цифровых сигналов. В результате точность системы существенно улучшается. Кроме того, датчики ускорения способны сразу уловить вибрацию, исходящую от пола или движущегося стола, и передать цифровой сигнал на включение пневматических приводов для нейтрализации вибраций.

Мощные пневматические приводы для работы с механизированными столами
Устройства серии DVIA-P жёстче пассивных систем виброизоляции, в силу высокой мощности пневматических приводов. Мощности пневматических приводов – достаточно для работы в качестве опор для полупроводникового метрологического оборудования и дисплеев с установленными моторизированными линейными столами.

Управление системой обратной связи и упреждения

A Упреждение движения столов Если в систему виброизоляции заранее введена информация о моторизированных столах, то система вырабатывает обратную силу, равную по амплитуде динамическим колебаниям линейных столов. В результате внешнее воздействие моторизированных линейных столов сводится к минимуму.

B Обратная связь ускорения В системе контроля обратной связи применяются датчики и приводы, позволяющие непрерывно обнаруживать вибрации, воздействующие на изолируемый объект, и сводить эти вибрации к минимуму. Система обратной связи ускорения не только снижает вибрации пола, но и эффективно сводит к минимуму вибрации моторизированных линейных столов.

C Обратная связь позиции При воздействии вибраций на изолированную платформу, обратная связь позиции измеряет смещение с помощью позиционных датчиков, которые передают сигналы на цифровой контроллер. После получения сигналов от датчиков, цифровой контролер запускает приводы, чтобы вернуть изначальное положение, улучшая тем самым позиционную точность.

D Упреждение вибрации пола Система упреждения вибрации пола фильтрует вибрации пола заранее заданным способом. Система управления упреждением вибрации задействуется, когда имеют место известные факторы, например постоянная сила, воздействующая на изолированную платформу, данные о вибрации в окружающей среде и информация об оборудовании, которое необходимо изолировать. В отличие от системы обратной связи, система упреждения анализирует динамические характеристики оборудования, и настраивает силу упреждения приводов методом проб и ошибок.

Система умного управления

Цифровой контроллер устройств серии DVIA-P использует аналогово-цифровой 19-канальный 16-битный и цифрово-аналоговый 10-канальный 24-битный конвертер для получения точной картины вибрации в противофазе. Цифровой контроллер управляет системой, постоянно вычисляя окружающую вибрацию, и передавая сигналы на пневматические приводы.

Активная виброизоляция во всех шести степенях свободы

Системы серии DVIA управляют вибрациями в трёх трансляционных степенях подвижности (осях X, Y и Z) и в трёх ротационных степенях подвижности (наклон, крен, поворот).

Настройка системы на рабочем месте

Характер вибрации пола зависит от места установки, окружения, нерегулярных событий, и различных источников вибрации. Поэтому производитель предлагает непосредственную настройку активной системы виброизоляции на месте работы силами своих опытных инженеров, чтобы гарантировать максимальную эффективность виброизоляции.

Эффективность

Виброизоляция 40 – 70% на 2 Гц.
Виброизоляция ≥90% на ≥4 Гц.

Характеристики

Модель		DVIA-P1000	DVIA-P2200	DVIA-P4000	DVIA-P7000	DVIA-P10000	DVIA-P20000	DVIA-P30000
Размеры платформы (Д x Ш x В)		240 x 240 x 110 мм	350 x 350 x 110 мм	420 x 420 x 110 мм	450 x 450 x 110 мм	450 x 450 x 120 мм	645 x 600 x 284 мм	735 x 700 x 284 мм
Максимальная нагрузка		500 - 1700 кг	1100 - 3700 кг	2100 - 7000 кг	3600 - 12000 кг	5000 - 17000 кг	11000 - 38000 кг	150000 - 50000 кг
Привод		Пневматический сервоклапанный привод
Максимальная мощность привода		Вертикальная: 25000 Н Горизонтальная: 300 Н	Вертикальная: 36260 Н Горизонтальная: 588 Н	Вертикальная: 68600 Н Горизонтальная: 2646 Н	Вертикальная: 117600 Н Горизонтальная: 4410 Н	Вертикальная: 167580 Н Горизонтальная: 8330 Н	Вертикальная: 372400 Н Горизонтальная: 11760 Н	Вертикальная: 490000 Н Горизонтальная: 11760 Н
Степени свободы		6 степеней
Диапазон активной изоляции		0.5 - 100 Гц
Виброизоляция на 1 Гц		40 - 70%
Виброизоляция на ≥2 Гц		≥80%
Напряжение на входе (В)		Однофазный переменный ток 100 – 240В
Потребление энергии (Вт)		100 Вт
Рабочий диапазон	Температуры (°C)	5 - 50 °C
	Влажности (%)	20 - 90%
Необходимое давление воздуха		≥ 0.5 МПа (5 бар)
Необходимый сжатый сухой воздух		250 Нл/мин

Сферы применения

СЭМ (SEM)

Ретуширование фотошаблонов

Модификация фотошаблонов

Автоматизированная АСМ

Установка фотолитографии

Рентгеновская метрология

Рентгеновская дефектоскопия

Системы электронно-пучковой литографии

Бесконтактная метрология трёхмерных поверхностей

Метрология толщины микроплёнки