Общие сведения
Компания MultiFields Technologies занимается разработкой и производством нанопозиционеров, основанных на пьезоэлементах (пьезоподвижек). Эти высокотехнологичные устройства позволяют обеспечивать перемещение объектов с предельной точностью в десятки и даже единицы нанометров. Отдельная линейка специализированных исполнений нанопозиционеров - криогенные нанопозиционеры позволяют работать в условиях вакуума. Благодаря непревзойденной точности, нанопозиционеры успешно находят применение в промышленности и передовых научных исследованиях, в частности – в сфере квантовых технологий.
Нанопозиционеры замкнутого цикла, серия Lab
Линейные нанопозиционеры замкнутого цикла LSxx.Lab.X
• Два варианта корпуса: 35 и 65 мм
• Оптический датчик положения энкодера (.O) (опция)
• Возможна установка немагнитной (.NM) опции и опции для сверхглубокого вакуума (.UHV)
• Три варианта корпуса: 35 и 65 мм
• Оптический датчик положения энкодера (.O) (опция)
• Возможна установка немагнитной (.NM) опции и опции для сверхглубокого вакуума (.UHV)
• Контроллер совместим с нанопозиционерами линейного и гониометрического типа
|
RS35.Lab.R |
RS65.Lab.O |
.Nm, Немагнитное исполнение;
.UHV, Исполнение для сверхглубокого вакуума |
| Размер |
35 × 35 × 15 мм |
65 × 65 × 18 мм |
| Материал |
Алюминий / Чистый титан / Нержавеющая сталь |
| Кабели и разъёмы |
Стандартное исполнение, стандартный экранированный кабель D-Sub-15;
UHV (для св. глубокого вакуума), Эмалепровод Kapton PEEK-2 мм пин; |
| Дистанция перемещения |
Бесконечно |
| Макс. скорость |
15 °/с |
10 °/с |
| Шаг |
3 мкрад |
3 мкрад |
Частота шага
|
Макс. 20 кГц (бесшумный режим) |
| Макс. нагрузка |
0.5 кг |
1 кг |
| Сила самофиксации |
10 Н*мм |
15 Н*мм |
| Крутящий момент |
7 Н*мм |
10 Н*мм |
| Диск |
Диаметр: 33.5 мм |
Диаметр: 62 мм |
| Датчик |
|
|
| Тип энкодера |
Наноразмерный датчик (.O) |
| Разрешение энкодера |
0.2 мкрад |
0.11 мкрад |
| Диапазон энкодера |
300 ° |
360 ° |
| Чертежи |
 |
 |
Гониометрические нанопозиционеры замкнутого цикла GS65.Lab.X
• Стандартный размер 65 мм
• Оптический датчик положения энкодера (.O) (опция)
• Возможна установка немагнитной (.NM) опции и опции для сверхглубокого вакуума (.UHV)
• Контроллер совместим с нанопозиционерами линейного и поворотного типа
| Модель |
GS65-77.Lab.O |
GS65-97.Lab.O |
| Размер |
70 × 70 × 20 мм |
| Материал |
Алюминий / Чистый титан / Нержавеющая сталь |
| Кабели и разъёмы |
Стандартное исполнение, стандартный экранированный кабель D-Sub-15;
UHV (для св. глубокого вакуума), Эмалепровод Kapton PEEK-2 мм пин; |
| Дистанция перемещения |
+/-10 ° |
| Макс. скорость |
~ 3°/с |
| Шаг |
1 мкрад |
| Частота шага |
Макс. 20 кГц (бесшумный режим) |
| Макс. нагрузка |
1 кг |
| Сила самофиксации |
50 Н*мм |
| Крутящий момент |
20 Н*мм |
| Радиус поворота |
77 мм |
97 мм |
| Датчик |
|
| Тип энкодера |
Оптический датчик (.O) |
| Разрешение энкодера |
0.03 мкрад |
0.02 мкрад |
| Диапазон энкодера |
20 ° |
| Чертежи |
 |
 |
Наностолики замкнутого цикла, серия Indus
Линейные столики замкнутого цикла LSXXX.Indus
• Опции для перемещение на расстояние 30, 60, 100, 120, 150 и 180 мм
• Наноразмерный датчик положения (.O), 1 / 10 нм (опция)
• Высокая нагрузка, поддержка многоуровневого сплайсинга
• Возможна установка опции для сверхглубокого вакуума (.UHV)
• Контроллер совместим с линейными нанопозиционерами серии Lab, а также с поворотными и гониометрическими нанопозиционерами
| Модель |
L060.indus |
L100.indus |
L180.indus |
.Nm, Немагнитное исполнение;
.UHV, Исполнение для сверхглубокого вакуума |
| Размер |
105 x 24 x 16.5 мм |
180 x 24 x 17 мм |
300 x 36 x 18 мм |
| Материал |
Алюминий / Нержавеющая сталь |
| Кабели и разъёмы |
Стандартный экранированный кабель D-Sub-15; |
| Дистанция перемещения |
60 мм |
100 мм |
180 мм |
| Макс. скорость |
~ 20 мм/с |
| Шаг |
~ 5 нм |
| Частота шага |
Макс. 20 кГц (бесшумный режим) |
| Динамическая сила |
3 Н |
| Сила самофиксации |
5 Н |
| Отклонение в ходе движения |
0.3 мрад |
| Макс. нагрузка |
2 Н |
| Сила самофиксации |
5 Н |
| Датчик |
|
| Тип энкодера |
– Оптический энкодер (.O) |
| Диапазон энкодера |
60 мм |
100 мм |
180 мм |
| Разрешение энкодера |
– Оптический энкодер (.O) 1 нм |
Сканирующие компактные столики замкнутого цикла, серия S , SD & SH
• Крайне компактный корпус; возможность перемещения по осям X, Z, XY и XYZ
• Диапазон перемещения от 100 до 300 мкм (возможно расширение диапазона по заказу)
• Высокая рабочая частота и быстрый отклик
• Ёмкостный (.C) и резистивный (.R) датчик положения (.C)
• Разрешение до 0.2 нм
• Возможна установка немагнитной (.NM) опции и опции для сверхглубокого вакуума (.UHV)
Сканирующие линзы (замкнутый цикл), серия Carrier.OB.
• Движение по оси Z, диапазоны: 50, 100 и 400 мкм
• Быстрое и стабильное перемещение, Время операции - в пределах 10 мс
• Поддержка опциональных линз объектива с высокой нагрузкой; доступно множество адаптеров для линз
• Поддержка стороннего программного обеспечения и аппаратного управления для автоматической фокусировки
• Ёмкостный (.C) и резистивный (.R) датчик положения (.C)
• Разрешение до 0.2 нм
• Возможна установка немагнитной (.NM) опции и опции для сверхглубокого вакуума (.UHV)
Смотровое окно для сканнера (замкнутый цикл) Carrier.S & HS
• Режимы движения: линейное и под наклоном
• Комплексная поддержка вариантов перемещения по осям: X, Z, XY, XYZ и ZTT
• Диапазон перемещения от 100 до 300 мкм (возможно расширение диапазона по заказу)
• Ёмкостный (.C) и резистивный (.R) датчик положения (.C)
• Разрешение до 0.2 нм
• Быстрая реакция на движение и долгосрочное испытание на выносливость
• Возможна установка немагнитной (.NM) опции и опции для сверхглубокого вакуума (.UHV)
Загрузочная платформа замкнутого цикла, серия Carrier
• Диапазон линейного перемещения 75 × 50 мм
• Разрешение оптического позиционирования 10 нм
• Максимальная нагрузка 2.5 кг
• Переходник для стандартного столика микроскопа
• Возможна установка немагнитной (.NM) опции и опции для сверхглубокого вакуума (.UHV)
| Модель |
Carrier.L7550.XY |
Carrier.1010.XY |
| Активные оси |
X，Y |
| Размер |
250 × 200 × 30 мм |
250 × 200 × 40 мм |
| Макс. пространство для установки |
325 × 250 мм |
350 × 350 мм |
| Размер отверстия (эффективный) |
85 × 65 мм |
120 × 120 мм |
| Опции |
расширения: HV, исполнение для глубокого вакуума; UHV, исполнение для сверхглубокого вакуума |
| Материалы |
Алюминиевый сплав |
| Кабели и разъёмы |
HV (для глубокого вакуума), стандартный экранированный кабель D-Sub-15;
UHV, (для св. глубокого вакуума), Эмалепровод Kapton PEEK-2 мм пин; |
| Диапазон рабочей температуры |
10 – 40 °C |
| Вес |
2333 г |
| Дистанция перемещения |
75 × 50 мм |
100 × 100 мм |
| Макс. скорость |
~ 15 мм/с |
~ 10 мм/с |
| Шаг |
~ 5 нм |
| Макс. частота шага |
Макс. 20 кГц (бесшумный режим) |
| Нагрузка |
2 кг |
4 кг |
| Отклонение (полный диапазон) |
0.8 мрад（0.46°） |
| Тип датчика |
– Оптический энкодер (.O) |
| Диапазон датчика |
75 × 50 мм |
100 × 100 мм |
| Разрешение датчика |
Оптический энкодер (.O) 1 нм |
| Чертёж |
 |
 |
Загрузочная платформа поворотного типа (замкнутый цикл), серия Carrier.R200
• Непрерывное вращение на 360 град.
• Разрешение позиционирования замкнутого цикла: 1 мкрад
• Максимальная нагрузка 1 кг
• Переходник для стандартного столика микроскопа
• Возможна установка немагнитной (.NM) опции и опции для сверхглубокого вакуума (.UHV)
| Модель |
Carrier.Ｒ200 |
| Направление перемещения |
Вращение по оси Z |
| Размер |
200 × 200 × 24 мм |
| Материал |
Алюминиевые сплав |
| Дистанция перемещения |
300° |
| Опции |
UHV, (для св. глубокого вакуума) |
| Размер отверстия |
Диаметр: 190 / 60 мм |
| Тип движения |
Непрерывное движение |
| Разрешение энкодера |
1 мкрад |
| Частота возбуждения |
15 Н*мм |
| Сила самофиксации |
20 Н*мм |
| Крутящий момент |
15 Н*мм |
| Повторяемость |
300 мкн° / 6 мкрд |
| Макс. нагрузка |
1 кг |
| Макс. рабочее напряжение |
Макс. 120 В |
| Рекомендованная рабочая температура |
15 ~ 40 °C |
| Вес |
2 кг |
| Установка |
Отверстие совместимо с моделью Carrier.L7550 |
| Drawings |
 |
