Пироэлектрические детекторы Micro-Hybrid

Описание

Поглощение падающего инфракрасного излучения образует градиент температур на поверхности детектирующей мембраны. В силу пироэлектрических свойств материала датчика, этот перепад температур преобразуется в изменение заряда, которое можно измерить на электродах чипа датчика.

В отличие от чипа на основе LiTaO³, который применяет большинство конкурентов, пироэлектрические детекторы Micro-Hybrid используют чувствительные элементы на основе технологии МЭМС. Пироэлектрический элемент состоит из тонкой плёнки из керамического пироэлектрического материала (CPM) толщиной примерно 0.5 мкм на модифицированной мембране на основе кремния, произведённой с помощью глубокого реактивного ионного травления DRIE. Оптически прозрачный фронтальный электрод позволяет инфракрасному излучению поглощаться активной зоной. Диапазон пробега поглощения у данной зоны – от 2 до 15 мкм.

Преимущества

• Повышенная точность и отношение «сигнал-шум», благодаря усилению внутреннего сигнала
• Повышенное распознавание частот
• Сниженное влияние внешних помех, таких как колебание температуры
• Низкое время отклика